德国ROTH&RAU减反射膜制造设备PECVD是板式设备，由于板式 PECVD 的沉积原理，工艺腔内的喷淋系统容易堵塞，因此需要定期清理工 艺腔内的 SiN x 且更换石英管 。 每次更换石英管是要求工艺确 认所有的特气孔是否已通， 确保工艺腔内特气均匀。 更换完石英管后要及时填写 《 PECVD 更换石英管点检表》 。 开机时要进行工艺参数及设备参数点检。 工艺参数点检要运行的工艺参数是否与设定值 一致，工艺腔压强必须达到 2.0E-2mbar 以下开起工艺。设备日常点检表主要点检氮气压力 5-6bar ，压缩空气压力 5-6bar 、冷却水温度 18-22 ℃、冷却水进水和出水压差在 2bar 以上、 反射功率小于 13% 以及设备的日常卫生工作。 PECVD 是硅片外观检查的主要工序，是连接前后道的枢纽，准确及时的挑选返工片 极为重要。 根据目前现状，对 PECVD 返工片做如下分类： 色差片：由于工艺或设备原因造成的片内膜色不均；膜深片。 线痕片： 由于二次清洗工艺存在缺陷， 在蓝色的氮化硅膜上有一条或多条弯曲的线 状金属线痕或者由于原硅片原因导致的切割线痕； 白斑片、花片： 由于制绒存在缺陷， 而使局部区域存在膜的颜色发白， 或镀膜面存 在花纹状。 其它类型：不属于以上三种类型的返工片。 在下料台处准备四个空的承载盒；在每个承载盒的侧边贴上“色差片” 、 “线痕片” 、 “白 斑片、花片” 、 “其它类型”标签。 下料过程中，出现返工片时放入相应的片盒。 当班结束后，对不同类型的返工片进行分别统计，计入“ PECVD 返工片分类统计表” 。 |
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