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主要特点
① 能够确保与pecvd石墨舟承载车准确定位; ② 采用sus304不锈钢制造,整机结构坚固可靠; ③ 采用gk系列高效空气过滤器; ④ 净化风机噪音小于50db; ⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
主要技术参数