1、基本尺寸机床外形尺寸(长×宽×高):870mm×3420mm×2555mm重量:20t
2、晶棒加工能力长度范围:150~650mm直径范围:150~220mm宽度范围:125~156mm
3、晶棒加工精度长度: 0.15mm对角线: 0.15mm锥度(头尾):<0.06mm垂直度:90o 0.1o
平面粗糙度:Ra<0.5,Rz<1.7,Ry<1.0