太阳能级多晶硅

项目（一）

太阳能级多晶硅等级指标（一）

1级品

2级品

3级品

基磷电阻率，Ω·cm

≥100

≥40

≥20

基硼电阻率，Ω·cm

≥500

≥200

≥100

少数载流子寿命，μs

≥100

≥50

≥30

氧浓度，atoms/cm³

≤1.0×10¹⁷

≤1.0×10¹⁷

≤1.5×10¹⁷

碳浓度，atoms/cm³

≤2.5×10¹⁶

≤4.0×10¹⁶

≤4.5×10¹⁶

项目（二）

太阳能级多晶硅等级指标（二）

1级品

2级品

3级品

施主杂质浓度ppba

≤1.5

≤5.4

≤50.4

受主杂质浓度ppba

≤0.5

≤2.7

≤27

基体金属杂质，ppmw

Fe、Cr、Ni、Cu、Zn

TMI(Total metal impurities)总金属杂质含量：≤0.05

Fe、Cr、Ni、Cu、Zn

TMI(Total metal impurities)总金属杂质含量：≤0.1

Fe、Cr、Ni、Cu、Zn

TMI(Total metal impurities)总金属杂质含量：≤0.2

注：

1，基体金属杂质检测可采用二次离子质谱、等离子体质谱和中子活化分析，由供需双方协商解决。

2，每个等级的产品应该同时满足本等级的要求，若某项超出指标，则降为下一级。

3, 3级品主要应用于多晶硅锭的生产。