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[新品] 硅锭载流子寿命扫描测试系统(WJ-200B)

  WJ-200B是针对大尺寸硅锭的测量而设计，可沿端面中轴线（Y轴），从硅锭头部向尾部以选定的间隔扫描测量；可在端面X轴方向从左到右（或从右到左），以选定的间隔扫描测量；可对整个端面做全扫描测量。以上三种测试方式均可由专用软件绘制测试结果彩色分布图、等高图、曲线图。

技术参数：

寿命测量范围：0.25μs-10ms；

电阻率测量范围：≥0.1-1Ω·cm；

最大可测样品尺寸：156×156×长mm（可根据用户需求订制）；

扫描分辨率（mm）：0.5、1、2、4、8、16；

寻边方式：微波自动寻边；

微波频率：10GHz；

红外激光波长：905nm；

脉冲频率：≈40Hz；

脉冲宽度：80-200ns可调；

测量重复性：短期不确定度优于±10%；

每点测量时间：0.6sec（含探头移动及及数据采集计算时间）。