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南京华伯仪器科技有限公司

HBI Instrument
产品介绍

石墨舟自动上下料系统(S.P.E.E.D.1000)

石墨舟自动上下料系统

HBI的S.P.E.E.D. TM1000石墨舟自动上下料系统是S.P.E.E.D. TM系列自动化设备中的一员。该设备用于电池生产中管式PECVD的自动装卸舟,并为印刷线提供自动装篮功能;适用于HBI管式PECVD及其他标准管式镀膜设备,并适合各种标准舟和标准花篮;其灵活设计亦适用于其他定制化工艺流程。

  S.P.E.E.D. TM1000采用独特的高精度、高速度、高稳定性的TrE TM自动化技术和超净材料,提高硅片传输速度和精度,大幅降低硅片碎片率和表面沾污;其产能可达2000片/小时(10舟/小时),运行时间长;降低对熟练操作工的依赖;节省生产成本,提高生产效率。

 HBI成功实现了装篮和装舟过程的六轴机器人精密控制,采用了软接触和软着陆技术,并设计了先进的伺服和编码系统,以提高控制部件和机械部件的配合精度,从而确保装舟时的精确定位,实现低碎片率和低沾污率。 客户在选择HBI工艺设备的同时选用S.P.E.E.D. TM1000自动化设备还可以降低开机调整时间,并获得HBI服务团队统一快速的专业支持

产品特点

精密软着陆技术,独特的取/放片结构

柔性机器人装卸载,降低碎片率

优选超净材料,降低硅片污染

高端精密检测及伺服运动系统,确保高可靠性

友好界面,易安装、易操作、易维护

结构紧凑、设计小巧,适合各类产线安装定位

尤其适合车间后期自动化改造

客户价值

大幅降低硅片碎片率

大幅减少硅片的人工污染

高速、精准的硅片自动化传输

减少人工操作、降低开机调整时间

降低熟练工依赖,节省人工投入

高产出、高运行时间

低折旧费用、低维护费用

节省生产成本,提高生产效率

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