HBI的S.P.E.E.D. TM1000石墨舟自动上下料系统是S.P.E.E.D. TM系列自动化设备中的一员。该设备用于电池生产中管式PECVD的自动装卸舟，并为印刷线提供自动装篮功能；适用于HBI管式PECVD及其他标准管式镀膜设备，并适合各种标准舟和标准花篮；其灵活设计亦适用于其他定制化工艺流程。
S.P.E.E.D. TM1000采用独特的高精度、高速度、高稳定性的TrE TM自动化技术和超净材料，提高硅片传输速度和精度，大幅降低硅片碎片率和表面沾污；其产能可达2000片/小时（10舟/小时），运行时间长；降低对熟练操作工的依赖；节省生产成本，提高生产效率。
HBI成功实现了装篮和装舟过程的六轴机器人精密控制，采用了软接触和软着陆技术，并设计了先进的伺服和编码系统，以提高控制部件和机械部件的配合精度，从而确保装舟时的精确定位，实现低碎片率和低沾污率。 客户在选择HBI工艺设备的同时选用S.P.E.E.D. TM1000自动化设备还可以降低开机调整时间，并获得HBI服务团队统一快速的专业支持
产品特点
精密软着陆技术，独特的取/放片结构
柔性机器人装卸载，降低碎片率
优选超净材料，降低硅片污染
高端精密检测及伺服运动系统，确保高可靠性
友好界面，易安装、易操作、易维护
结构紧凑、设计小巧，适合各类产线安装定位
尤其适合车间后期自动化改造
客户价值
大幅降低硅片碎片率
大幅减少硅片的人工污染
高速、精准的硅片自动化传输
减少人工操作、降低开机调整时间
降低熟练工依赖，节省人工投入
高产出、高运行时间
低折旧费用、低维护费用
节省生产成本，提高生产效率 |
产品介绍
