HBI的S.P.E.E.D. TM6000石英舟自动装舟系统是S.P.E.E.D. TM系列自动化设备中的一员。该设备用于太阳能电池扩散前自动装舟；适用于HBI的高精度高方阻闭管扩散设备全自动装舟，可按客户特殊需求定制设计以满足300片、400片标准HBI石英舟等；石英舟上片采用HBI标准50片花篮，也可按客户定制其他上片方式；其灵活设计亦适用于其他定制化工艺流程。
S.P.E.E.D.TM 6000采用独特的高精度、高速度、高稳定性的TrE TM自动化技术和超净材料；采用独特的石英舟定位、高精度硅片自动导入结构设计，硅片传输采用软着陆技术设计，降低硅片沾污及破片率；高端高精度检测及伺服控制系统；尺寸小巧，适合产线灵活摆放。
HBI成功实现了产线石英舟高速硅片装载，其独特设计降低了对石英舟精度的要求，装片速度快、碎片率低。机械运动部件采用高精度全球最好产品，确保设备长期可靠运行。 该设备采用特殊石英舟定位设计，兼容几乎任意角度的石英槽角度，具有速度快、上片精度高、噪音及振动小的特点。设备采用高可靠安全隔离设计，确保隔绝污染。选用S.P.E.E.D.TM 6000自动化设备还可以大幅节省安装和开机时间，并获得HBI服务团队统一快速的专业支持。
产品特点
精密软着陆技术，独特的石英舟定位机构
适用任意石英导槽角度，兼容国产石英舟
根据设定，灵活选择单面、双面扩散进片
高端精密检测及伺服运动系统，确保高可靠性
友好界面，易安装、易操作、易维护
结构紧凑、设计小巧，适合产线灵活摆放
尤其适合车间后期自动化改造
客户价值
大幅降低硅片碎片率
大幅减少硅片的人工污染
高速、精准的硅片自动化传输
减少人工操作、降低开机调整时间
降低熟练工依赖，节省人工投入
高产出、高运行时间
低折旧费用、低维护费用
节省生产成本，提高生产效率 |
产品介绍
