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南京华伯仪器科技有限公司

HBI Instrument
产品介绍

石英舟自动装舟系统(S.P.E.E.D.6000)

石英舟自动装舟系统

HBI的S.P.E.E.D. TM6000石英舟自动装舟系统是S.P.E.E.D. TM系列自动化设备中的一员。该设备用于太阳能电池扩散前自动装舟;适用于HBI的高精度高方阻闭管扩散设备全自动装舟,可按客户特殊需求定制设计以满足300片、400片标准HBI石英舟等;石英舟上片采用HBI标准50片花篮,也可按客户定制其他上片方式;其灵活设计亦适用于其他定制化工艺流程。

 S.P.E.E.D.TM 6000采用独特的高精度、高速度、高稳定性的TrE TM自动化技术和超净材料;采用独特的石英舟定位、高精度硅片自动导入结构设计,硅片传输采用软着陆技术设计,降低硅片沾污及破片率;高端高精度检测及伺服控制系统;尺寸小巧,适合产线灵活摆放。

 HBI成功实现了产线石英舟高速硅片装载,其独特设计降低了对石英舟精度的要求,装片速度快、碎片率低。机械运动部件采用高精度全球最好产品,确保设备长期可靠运行。 该设备采用特殊石英舟定位设计,兼容几乎任意角度的石英槽角度,具有速度快、上片精度高、噪音及振动小的特点。设备采用高可靠安全隔离设计,确保隔绝污染。选用S.P.E.E.D.TM 6000自动化设备还可以大幅节省安装和开机时间,并获得HBI服务团队统一快速的专业支持。

产品特点

精密软着陆技术,独特的石英舟定位机构

适用任意石英导槽角度,兼容国产石英舟

根据设定,灵活选择单面、双面扩散进片

高端精密检测及伺服运动系统,确保高可靠性

友好界面,易安装、易操作、易维护

结构紧凑、设计小巧,适合产线灵活摆放

尤其适合车间后期自动化改造

 客户价值

大幅降低硅片碎片率

大幅减少硅片的人工污染

高速、精准的硅片自动化传输

减少人工操作、降低开机调整时间

降低熟练工依赖,节省人工投入

高产出、高运行时间

低折旧费用、低维护费用

节省生产成本,提高生产效率

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