同时生成P+和B+离子束:目前的太阳能离子注入机,很少具备这一能力。
能量范围更广:2keV-60keV(超过目前市面上的竞争对手)
适用范围广:适用于标准电池、PERC电池、双面电池、IBC电池、HJT+IBC电池、Topcon电池等,基本上目前市面上的主流和未来潜在主流电池工艺都可以覆盖。
工艺大大简化:一次进出真空腔,即可完成IBC电池,为世界首创,在该离子注入机上,可以实现低成本的制作IBC电池结构,隔离区最小可以做到20um的宽度,并可以完成更大宽度范围的结构。
产能大。(IBC 或 HIT+IBC 电池片约1500片/小时,其他标准电池、PERC电池、双面电池约3000片/小时) |