苏州尚纯半导体设备有限公司

产品介绍

自动芯片清洗机(sc-001)

全自动芯片清洗机

设备用途：主要对处理后的硅芯进行腐蚀清洗

适用对象：多晶硅芯、横梁、硅芯原料等

控制模式：手动控制模式、全自动控制模式

项目	数据
基本规格	机台封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）
适用对象	名称规格（mm）长度（mm）每批清洗量（预估）多晶硅芯 Φ7-10 2000-2800 24-26支横梁 Φ7-10 300-500 若干基座料 Φ40-50 250-300 若干硅芯原料 Φ120-150 2000-2800 1支
选配模块	l 采用纯水隔离式或风帘隔离式可选 l 更全面的全自动干燥系统 l 可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理
排风系统	排风强劲合理设计，为了排风效果达到最佳，排风通道内设有风量导流板，为了方便操作人员及时根据情况调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式排风口再配合机台视窗上的可调节进气模块，从而达到最佳使用效果
机台特点	l 刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性 l QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定 l 更全面的自动干燥系统 l 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品 l 保修便利，非期货库存品工厂内均建立安全库存品 l 全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小运行平稳，机械臂定位精度高 l 多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储 l 作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全 l 客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要
机械臂装置	Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）机械手传送定位精度 ≤0.3mm 机械臂走向右进做出或左进右出
制程控制	PLC控制方式
操作界面	全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）
槽体数量	根据制程要求选择定制
设备制造	苏州尚纯半导体设备有限公司

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公司简介

苏州尚纯半导体设备有限公司（简称SC），
公司成立于2009年，坐落于苏州工业园区，
是一座现代化花园工厂。

公司要从事半导体、平板显示、太阳能光伏领域湿法制程设备的研发、
生产和销售，产品性能居国内领先水平。
尚纯致力于为客户提供半导体湿法制程装备与工艺整体解决方案。
尚纯公司通过多年技术积累、创新提高，形成自主知识产权体系，
尚纯公司作为国内领先的高端半导体湿制程设备制造企业，
所开发的清洗机、显影机、RCA清洗机、去胶机、湿法刻蚀机、
单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，
可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，
广泛应用于半导体生产、高端封装、IC、MEMS、LED、OLED、TSV、PV等领域。

尚纯公司另设计配套二次配管工程，各类型工程用等管材阀件，超洁净管阀件配管材料(BA,EP)
化学阀件配管材料(PFA) 半导体设备材料(Ceramics&QuartzParts)
水/气/化系统二次配管系统(Hook-UpSystem)。
主要经销品牌：美国entegris. 美国 Parker.美国 cpc
日本: CKD.日本 pillar. 日本dymatrix.日本 MRM. 日本ADVANCE.
日本：surpass. 韩国：SEBA.韩国 EFI.

联系我们

公司名称：		苏州尚纯半导体设备有限公司
联系人：		徐
所在城市：		江苏省苏州
公司电话：		18013755793

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主营产品：全自动去磷硅玻璃酸洗全自动RCA清洗机半自动硅片腐蚀清洗机全自动硅块清洗机全自动芯片清洗机半自动石英管机有机溶剂清洗机全自动Si电池片制绒
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