青岛晨立电子有限公司

产品介绍

[促销] 高温氧化炉(cl45)

扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。

技术指标：
       可处理硅片尺寸：2—12英寸
       工作温度：200℃—1300℃
       恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
       单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃／24h
       温度斜变：可控升温速率20℃／min，
       可控降温速率：5℃／min
       送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
       气路系统：1—5路工艺气体／管
       气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
       控制方式：工控机、触摸屏

公司其他产品

公司简介

青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先进材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。

主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。

公司本着和谐、共赢，以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为目标的企业方针，为客户提供优质的产品，优良的服务。

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公司名称：		青岛晨立电子有限公司
联系人：		姜经理
所在城市：		山东省青岛
详细地址：		山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
电子邮件：		1012125777@qq.com
公司电话：		13869885308
邮编：		266200

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主营产品：扩散炉扩散炉炉体真空炉真空共晶炉隧道式退火炉退火炉隧道炉真空焊接炉合金炉隧道式烧结炉加热器科研炉热处理炉焊接炉高温炉体高温扩散炉真空烧结炉程控扩散炉网带炉氧化炉
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