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功能特点 |
多角度激光椭偏仪 SE400advanced使用632.8nm波长HeNe激光器，对测量薄膜厚度，折射率和吸收系数有非常出色的精度。 SE400advanced能够分析单层膜，多层膜和大块材料（基底）
■ 超高精度和稳定性，来源于高稳定激光光源、温度稳定补偿器设置、起偏器跟踪和超低噪声探测器
■ 高精度样品校准，使用光学自动对准镜和显微镜
■ 快速简易测量，可选择不同的应用模型和入射角度
■多角度测量，可完全支持复杂应用和精确厚度
■全面的预设应用，包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域
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技术指标 |
■ 激光波长632.8 nm
■ 150 mm (z-tilt) 载物台
■ 入射角度可调，步进5o
■ 自动对准镜/显微镜，用于样品校准
■ Small footprint
■ 以太网接口连接到PC
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选项 |
■ 微细光斑选项，光斑直径30微米
■ 手动x-y方向移动载物台，行程150 mm
■ 摄象头选项，用于取代目镜进行样品对准
■ 液体膜测量单元
■ 反射式膜厚仪FTPadvanced，光斑直径80微米
■ 双波长激光 (405 nm 或1550 nm)
■ SIMULATION软件
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软件特征 |
■ 预先定义应用
■ 多角度测量
■ 广泛的材料数据库
■ 拟合状况的图形反馈
■ 支持多种语言 |
产品介绍
