u<1> 涡流法电阻率分析仪(晶锭和晶片),应用于半导体Wafer及Ingot的电阻率分析; u<2> 涡流法电阻率探头(晶锭和晶片),应用于光伏、太阳能Si片的检测; u<3> SPV法PN探头,应用于光伏、太阳能Si片的检测; u<4> 电容法厚度探头,应用于Wafer的厚度测量,分辨率0.1μm; u<5> 迁移率(霍尔)测试仪,应用于载流子迁移率及载流子浓度的测量; u<6> JPV法薄膜方阻探头及分析系统,应用于电池片方阻测量; u<7> 半自动Wafer电阻率、厚度、PN、温度分析系统(解决样片翘曲度影响)。 |