采用涡流法原理,非接触式量测,应用于硅片分选机、检测设备等;
产品集成方阻(电阻率)、PN型、温度三探头一体式测量,可广泛用于硅片分选机、生产过程分析等光伏及半导体测量领域。本产品由如下部分组成:
1、控制主机(九域品牌)
可实现电阻率探头、PN探头、温度探头、光纤信号的统一管理;与远程电脑进行网络通讯。
2、方阻(电阻率)探头(九域品牌)
主要利用涡电流测试原理,非接触测试半导体材料,石墨烯,透明导电膜,碳纳米管,金属等材料的电学特性。
3、PN类型检测探头(九域品牌)
利用光伏效应,通过测量由光伏效应引起的表面光电压 (SPV), 分析半导体材料相关性质。
本仪器为非接触,非损伤测试,具有测试速度快,重复性佳,测试敏感性高,可以直接测试产品片等优点。
支持标准通讯协议和自定义通讯协议 |