TOPCon电池即隧穿氧化层钝化接触电池(Thin Oxide Passivated Contact),主要使用N型硅片为载体,在PERC电池的基础上于背面制备一层极薄的氧化硅层(1~2nm)即隧穿氧化层,然后再沉积一层磷掺杂的微晶非晶混合硅薄膜,混合硅薄膜在退火过程中结晶性发生变化,转变为多晶形成钝化接触结构。TOPCon电池的超薄氧化硅层利用量子隧穿效应,可允许多子隧穿而阻挡少子透过,在其上沉积一层金属作为电极就实现了无需开孔的钝化接触结构。不接触硅片就可以完成电流传输,从而降低了电池电极处复合而造成的效率损失,另外,掺杂的多晶硅层可以进一步降低表面复合造成的效率损失,从而提高电池效率。无需激光开孔,采用N型硅片无光致衰减,兼容中高温烧结。主要提升的钝化是背面钝化,背面采用1-2nm的高质量氧化硅层,结合掺杂非晶硅进行高温晶化退火从而实现全区域的钝化接触,采用高质量的超薄氧化硅和掺杂多晶硅层,实现全背面的高效钝化和载流子选择性收集。Topcon的核心结构是超薄的二氧化硅层,利用量子隧穿效应,既能让电子顺利通过,又可以阻止空穴的复合。
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