DRF-40单晶矽生长炉是能够生长无缺陷的硅锭的直径为1.5英寸,采用提拉法和先进的控制系统的。这些无缺陷的硅锭,可用于集成电路,以及太阳能应用。
|
项目
|
规范
|
1
|
最大。锭直径
|
∮1.5“(∮40毫米)
|
2
|
充电大小
|
3公斤/ 6“坩埚
|
3
|
炉膛尺寸
|
∮400 * 680MM
|
4
|
喉径
|
∮100毫米
|
5
|
种子升降率
|
0.2-8mm/min
|
6
|
种子旋转(可逆)
|
0-30RPM
|
7
|
坩埚旋转(可逆)
|
0-30RPM
|
8
|
总坩埚旅游
|
210毫米
|
9
|
电器(变压器容量)
|
50KVA
|
10
|
电极距离/数量
|
∮240MM / 2(正常)
|
11
|
最大真空环境温度下。
|
<3Pa的
|
12
|
重量
|
3500公斤
|
13
|
尺寸
|
2050 * 1000 *3500毫米(L * W * H)
|
|