DRF-40单晶矽生长炉是能够生长无缺陷的硅锭的直径为1.5英寸,采用提拉法和先进的控制系统的。这些无缺陷的硅锭,可用于集成电路,以及太阳能应用。
项目
规范
1
最大。锭直径
∮1.5“(∮40毫米)
2
充电大小
3公斤/ 6“坩埚
3
炉膛尺寸
∮400 * 680MM
4
喉径
∮100毫米
5
种子升降率
0.2-8mm/min
6
种子旋转(可逆)
0-30RPM
7
坩埚旋转(可逆)
8
总坩埚旅游
210毫米
9
电器(变压器容量)
50KVA
10
电极距离/数量
∮240MM / 2(正常)
11
最大真空环境温度下。
<3Pa的
12
重量
3500公斤
13
尺寸
2050 * 1000 *3500毫米(L * W * H)