DRF-50单晶生长炉的硅是无缺陷的硅锭生长到3英寸的直径,使用直拉法和先进的控制系统的能力。这些无缺陷的硅锭,可用于集成电路,以及太阳能应用。
|
项目
|
规范
|
1
|
最大钢锭直径
|
∮3“(∮80毫米)
|
2
|
充电大小
|
10kg/10“坩埚
|
3
|
炉膛尺寸
|
∮500 *780毫米
|
4
|
喉径
|
∮148毫米
|
5
|
种子升降率
|
0.2-8mm/min
|
6
|
种子旋转(可逆)
|
0-30RPM
|
7
|
坩埚旋转(可逆)
|
0-20rpm的
|
8
|
总坩埚旅游
|
220毫米
|
9
|
电器(变压器容量)
|
80KVA
|
10
|
电极距离/数量
|
∮240MM / 2(正常)
|
11
|
最大真空环境温度下。
|
<3Pa的
|
12
|
重量
|
4000公斤
|
13
|
尺寸
|
2050 * 1000 *4300毫米(L * W * H)
|
|