DRF-50单晶生长炉的硅是无缺陷的硅锭生长到3英寸的直径,使用直拉法和先进的控制系统的能力。这些无缺陷的硅锭,可用于集成电路,以及太阳能应用。
项目
规范
1
最大钢锭直径
∮3“(∮80毫米)
2
充电大小
10kg/10“坩埚
3
炉膛尺寸
∮500 *780毫米
4
喉径
∮148毫米
5
种子升降率
0.2-8mm/min
6
种子旋转(可逆)
0-30RPM
7
坩埚旋转(可逆)
0-20rpm的
8
总坩埚旅游
220毫米
9
电器(变压器容量)
80KVA
10
电极距离/数量
∮240MM / 2(正常)
11
最大真空环境温度下。
<3Pa的
12
重量
4000公斤
13
尺寸
2050 * 1000 *4300毫米(L * W * H)