DRF-95单晶矽生长炉8“太阳能和半导体锭。
武装与TLPE高性能(高拉速和低功耗消费)热区,客户可以受益从显着降低运营成本,以及改善优化 主要技术规格的晶体质量。
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项目
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规范
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1
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锭直径
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∮8“-10”
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2
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充电大小
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95kg/20“坩埚; 120kg/22”的坩埚
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3
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炉膛尺寸
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∮950×1250mm结构
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4
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喉径
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∮300毫米
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5
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拉商会大小
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∮300 *2500毫米
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6
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种子升降率
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0.2-8mm/min
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7
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种子旋转(可逆)
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0-30RPM
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8
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坩埚旋转(可逆)
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0-20rpm的
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9
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总坩埚旅游
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450毫米
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10
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Crucibel升降速率
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0.02-1mm/min
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11
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电器(变压器容量)
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190KVA
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12
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电极距离/数量
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∮500毫米/ 4正常
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13
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最大真空环境温度下。
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<3Pa的
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14
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重量
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4000公斤
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15
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尺寸
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2300 * 1410 *7100毫米(L * W * H)
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