1. 设备概况
JRDL-900系列单晶炉是软轴提拉型单晶炉,采用PLC控制,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备。它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶,JRDL-900-AT全自动型软轴单晶炉可实现从抽真空到收尾全自动控制。
2. 技术参数
项目
|
参数
|
主加热器最大功率
|
180kW
|
主加热器最高加热电压
|
60V
|
整机功率
|
≤190kW
|
炉内最高温度
|
1600℃
|
生长晶体的直径范围
|
≤10″
|
熔料重量
|
100kg – 120kg
|
单晶硅生长时间/炉
|
≈45h
|
主机总高
|
6935㎜
|
整机占地面积
|
5300㎜×3300㎜
|
|