1. 设备概况
JRDL-900系列单晶炉是软轴提拉型单晶炉,采用PLC控制,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备。它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶,JRDL-900-AT全自动型软轴单晶炉可实现从抽真空到收尾全自动控制。
2. 技术参数