1. 设备概况
JD-1000型单晶炉,是软轴提拉型单晶炉,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热器,将一定纯度的硅材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备,它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。该设备最大可使用24″的热系统,投料140-150Kg,拉制10″或以下的单晶。
2. 技术参数