1. 设备概况
JD-1000型单晶炉,是软轴提拉型单晶炉,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热器,将一定纯度的硅材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备,它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。该设备最大可使用24″的热系统,投料140-150Kg,拉制10″或以下的单晶。
2. 技术参数
项目
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参数
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主加热器最大功率
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210kW
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主加热器最高加热电压
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60V
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整机功率
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≤225kW
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炉内最高温度
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1600℃
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生长晶体的直径范围
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≤10″
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熔料重量
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Max 150kg
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硅单晶等径长度
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≥1500mm(8”)
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主机总高
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8150mm
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整机占地面积
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5500mm×6500mm
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