1. 设备概况
JZ-270/450多晶铸锭炉应用定向固化技术,采用垂直梯度定向结晶工艺对加热器的温度进行精确控制,利用隔热层的运动实现定向晶体生长,在50-60小时生长出270kg/450kg的硅锭,该炉型单位能耗小于10kW.h/kg。
2. 技术参数
项目
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参数
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参数
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硅锭重量
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270kg
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450kg
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坩埚尺寸(宽*长*高)
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720*720*420/mm
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720*720*420/mm
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硅锭尺寸
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690*690*270/mm
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840*840*270/mm
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石墨电阻加热功率
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165kW
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165kW
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最高加热温度
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1575℃
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1575℃
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全过程自动化控制,循环时间
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50hr
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60hr
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定向凝固运动行程
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380mm
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380mm
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下炉室运动行程
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≥900mm
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≥900mm
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设备占地(宽*长*高)
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4760*4950*4960/mm
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4760*4950*4960/mm
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