产品特点
·适台硅芯/硅棒清洗。
·采用旋转式花篮方式(非旋转式花篮可选)。
·采用纯水隔离方式(无纯水隔离方式可选)
·主要部件采用国外名厂产品。
·触摸屏操作界面、PLc控制。
·硅芯:13-27条/批,80-160条/小时(长:2000-2800mm,直径:7-12mm)。
·硅棒:1根/批(长:2000-2800mm,直径:125-140mm)。