产品特点
·3200片(125*125、156*156)/小时超大产能
·采用第四代最新全直动配液、补液技术.全面完善的防酸、防腐措施,保护到机器每一个角落。
·最新全自动补液技术。
·独特的硅片干燥处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕
·成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身。
·彩色大屏幕人机界面操作.方便参数设置及多工艺方式转换
·高速移载机械手采用松下伺服程序控制.具有高速,防压,自动归正.四点稳定抓取,带钧抱篮等特点。