德国新格拉斯科技集团上海办事处

产品介绍

硒化反应炉

　　CISARIS反应炉是一种在线快速热处理RTP设备,用于在大面积玻璃衬底上形成CIGSSe吸收层。CISARIS由一个装卸站、一个真空密封工艺站以及一个回转传送带构成,是大规模生产CIS太阳能组件的理想设备。

　　CISARIS的主要特点包括高开动率、高机械成品率、快生产节拍,再加上强大的硒化工艺,根据配置的不同,能实现年均25MWp以上的生产能力。

主要特点

第二代在线硒化加热炉,优化了生产节拍

对带有金属前驱体涂层(CIG)的玻璃衬底进行快速加热(高达4°C/秒)

均匀的气体分布,通过优化进气系统而降低了耗气量

可在各种工艺过程阶段引进H2S和硒化氢气体

通过运用优化的红外线辐射器而将大型衬底均匀加热到550°C以上,从而按要求保证结晶质量

将衬底均匀冷却,避免玻璃翘曲变形

在各工艺过程阶段都能实现优异的温度控制(平均温度变化<5°C)

在大气压强下进行真空工艺处理

通过抽真空和吹扫循环保证了工艺过程环境中没有氧气和水蒸气

先进的维修理念,所有机器部件都能最方便维护

成熟的安全系统源于可靠的风险管理和安全工程设计

公司其他产品

薄膜太阳能的真空	应用缓冲层的工艺	太阳能薄膜PVD溅	ICP-PECVD镀膜设	用于硅块蚀刻、清	在线湿法设备
单面抛光蚀刻	磷硅玻璃的在线式	间歇式无异丙醇的	硅晶片预清洁及脱

公司简介

　　德国新格拉斯科技集团为光盘、半导体和太阳能电池提供生产解决方案和生产设备。凭借晶硅和薄膜太阳能科技领域的新颖设备概念和生产工艺，德国新格拉斯科技集团成为高性能太阳能电池新概念的领先开发伙伴和设备供应高。作为光盘生产系统的领头羊，集团在真空镀膜、自动化和工艺整合方面积累了广泛的技术经验。德国新格拉斯科技集团在太阳能行业领域不断开拓。集团携手世界各地的电池制造商共同改进生产工艺，在提高太阳能电池的效率的同时降低生产成本。此外，集团还与高校、
科研机构和领先的太阳能公司台作开发，为新概念电池的开发创立专利技术。
　　相比与品硅电池技术，薄膜太阳能电池板有不少优势。其中之一就是它在光照强度较弱时能保持效率，并方便地集成到建筑设计元素中。德国新格拉斯科技集团是在cIs及cdTe制造的湿法化学工艺市场领军者。新的电站概念拓宽了集团在薄膜电池技术的增值链。集团的目标就是成为晶硅与薄膜电池新技术领域受尊敬的佼使者。

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