主要功能参数 NXRJ-CZ9524 B/P
CCD 相素 2000000(Color）
个数 双CCD
IRCON 精度 0.1ºC
晶料相关 装料量 150Kg
通用直径 8~10"/或非标
坩锅直径 22"/24"
晶棒最长尺寸 2010mm
机器外型 中炉内径 950mm
机器安装面积 1815X1650mm
机器高度 7500mm
炉体重量 ~4500Kg
电源系统 输入电源 三相AC380V±5% 240KVA
电源频率 50HZ/60HZ
加热器功率 Max:165Kw Dc55V 3000A
电源装置 1GBT/可控硅
可控硅&变压器 全水冷数字CPU控制
双LCD显示屏 有
籽晶升降 籽晶行程 3200mm
籽晶升速 低速0~10mm/min
高速500mm/min
籽晶转速 0~40RPM
籽晶绳材质 钨质直径2.5mm
坩埚升降 坩埚行程 500mm
坩埚升速 低速0~0.5mm/min
高速90mm/min
坩埚转速 0~21RPM
最大载重 >250Kg
其他 籽晶晃动范围 转速<12RPM时晃动<2mm
炉体水平度 水平<0.06mm/m
极限真空 <3mT
真空漏气率 <0.5mT/min
控制方式 PLC 三菱Q06H/基恩士PLC
PC 高性能PC(双屏)
自动/手动 全自动
称重系统 精度 0.1Kg
液面测温 控制范围 0.1ºC
产品介绍
