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温州永泰电器有限公司

产品介绍

半导体全自动晶体生长炉(YCZ6000)

半导体全自动晶体生长炉

坩埚驱动单位

提升速度 0-10 in / hr(0-254mm/hr)

最大行程 11.5“( 292 mm)

转 速 0-20 rpm(std option)最大可达30rpm

籽晶驱动单位

提升速度 0-20 in / hr(0-508mm/hr)

转 速 0-50 rpm

厂务要求

电源电压 380±10%

频 率 50HZ

加热功率 165KW

环境温度 5~40

相对湿度 <70%

入口端最高水温 25℃

最小流量 190L/min

入口出口压力差 >2.7kg/cm2

主氩气流量 140 slpm

吹扫流量 100 slpm

合 计 240 slpm

推荐压力 >4.5 kg/cm2

压缩空气

推荐压力 >5.5 kg/cm2

控制系统

全自动生长控制过程

标准PLC/PC控制

选 项

多晶硅进料系统

真空泵

真空过滤系统

取晶车

坩埚装卸系统

外形尺寸

生长空间要求 5,533mm

总高度 5,173mm

宽 2,200mm

深 2,730mm

公司其他产品
公司简介
  温州永泰电器有限公司位于浙江温州柳市外向型工业区,是国内新兴半导体设备制造商,生产有全自动单晶炉及配套产品的高新技术企业,中国电子专用设备工业协会(CEPEA)、中国半导体材料协会(CSMA)和国际半导体设备材料产业协会会员单位(SEMI)。
  公司研发的硅晶体生长炉,主要应用在集成半导体IC,LED 芯片制造,太阳能光伏电池行业。主要产品有半导体单晶硅生长炉,太阳能单晶硅生长炉。目前公司研发团队正在开发半导体级8-12 英寸大直径的单晶硅生长炉、硅晶体区熔炉以及蓝宝石炉,公司不断在技术上进行改进和升级,提升永泰晶体硅生长炉的性能和技术,使之成为全球领先的半导体设备制造商。
  公司拥有多项半导体设备相关专利,具有较强的研发能力,根据市场的需求不断推出新产品,促进企业的持续发展,在人才引进,科研开发、提高制造水平,市场开拓方面不断创新,为实现世界级半导体设备制造商的目标努力。随着市场占有率的不断提高,生产规模高速扩展,公司新的半导体产业园也在加紧建设,为能在半导体和太阳能光伏设备领域里开创新的局面,实现世界一流的半导体设备制造商的目标,为半导体产业广大客户提供更好的服务。
  步入21世纪,永泰公司愿与您携手共进,共创辉煌!
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公司名称: 温州永泰电器有限公司
联系人: 吴培峰
所在城市: 浙江省 温州市
详细地址: 乐清柳市外向型工业区杨帆路
公司商铺: 20239.china-nengyuan.com
电子邮件: stevenwu@gepvinc.com
公司电话: 0577-62723111
传真: 0577-62725001
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主营产品:硅晶体生长炉
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E-mail:stevenwu@gepvinc.com 
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