青岛赛瑞达电子装备股份有限公司

QINGDAO SUNRED ELECTRONIC EQUIPMENT CO.,LTD

产品介绍

PECVD等离子体刻蚀机

■ 产品用途

该设备是基于真空中的高频激励而产生的辉光放电获得化学活性微粒与被刻蚀材料起化学反应产生挥发性物质进行刻蚀的。该设备特别适合于目前太阳能电池片生产中的电池周边掺杂硅的刻蚀，也可用于半导体工艺中多晶硅、氮化硅的刻蚀和去胶。

■ 技术指标

◆ 适用加工硅片尺寸：125mmX125mm;156mmX156mm

◆ 反应室极限真空度：优于 2Pa

◆ 射频电源：频率：13.56MHz; 功率：小于 1000W

◆ 温度要求：5~38℃

◆ 湿度要求：80%

◆ 电源电压：三相 380V±10%，50Hz; 单相 220V±10%，50Hz

◆ 操作控制回路：DC24V ; SOL：AC100V

◆ 额定放片量: 200-500 片/批

◆ 进出料方式: 手动

◆ 控制方式: 以触摸屏为人机界面，PLC 自动控制工艺过程

◆ 刻蚀工作周期：＜23Min

公司其他产品

公司简介

　　青岛赛瑞达电子装备股份有限公司于2005年成立，是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家，是中国电子工业基础装备的重点骨干企业，属于国家高新技术企业，中国十强最具成长性半导体企业，青岛市最具成长性企业，青岛市创业明星企业，青岛市标准良好化AA级示范单位，青岛市创新型企业，青岛市优秀企业，中国电子专用设备工业协会会员。公司于2005年通过了ISO9001/2000质量管理体系认证，于2012年6月完成股份制改造，现有生产用地100亩，建筑面积4万余平方米，注册资本3100万。
　　公司主要产品有：半导体技术专用工艺设备，电子元器件专用工艺设备，集成电路工艺设备，太阳能电池片专用工艺设备，LED工艺设备，砷化镓工艺设备，纳米材料工艺设备，磁性材料工艺设备，航空航天及国家军工单位专用的工艺设备，产品种类多达两百多个，各种专利及著作权达四十多项。
　　赛瑞达公司技术力量雄厚，各类专业技术人员齐全，具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。公司始终坚持“质量是企业的生命，诚信是立足的根本，服务是发展的保障，不断创新是赛瑞达永恒的追求”的经营理念，通过全体员工的不懈奋斗公司已成长为国内综合实力最强的半导体工艺装备制造企业，技术水平已达到国际一流水准，产品覆盖全国31个省、市、自治区、直辖市，并出口到美国、欧洲、亚洲等数个国家和地区。

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公司名称：		青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
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联系人：		李楠
所在城市：		山东省青岛市
详细地址：		李沧区李沧工业园铜川路10号
公司商铺：		20274.china-nengyuan.com
公司电话：		0532-87666596
传真：		0532-87666587
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主营产品：太阳能电池片专用工艺半导体技术专用工艺设 LED工艺设备集成电路工艺设备电子元器件专用工艺设砷化镓工艺设备纳米材料工艺设备磁性材料工艺设备
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