青岛赛瑞达电子装备股份有限公司

PECVD 退火(固化)炉

　　该设备主要用于太阳能电池（1200*600 *3.2mm板）在生产线中进行连续退火（烧结、固化）的大尺寸腔体专用设备。该类设备还可用于半导体器件的固化、烧结等应用（腔体尺寸可订制）。

　　该设备具有多项专利，采用国内首创循环热风的加热方式，实现大腔体内部的温度均匀性好；首创用抽出腔内热风经特殊冷阱冷却后再回送到腔内冷却器件的方式，旨在使腔体内的气氛浓度不变，温度逐渐降低；首创特殊链板式输送方式，使大尺寸链带轻便、基本免维护、传动平稳、无跑偏；弹性涨紧机构保证链带在传动中对热胀、冷缩自动实现涨紧；特别适用于大幅面太阳能电池（板）的均匀加热和冷却，实现电池板连续烧结、退火及固化工艺。