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苏州晶洲装备科技有限公司

产品介绍

背抛光刻蚀清洗设备

背抛光刻蚀清洗设备

技术优势:

1.可观的电池效率提升,根据不同的工艺基础,可提升0.2%-0.3%。

2.集扩散后抛光和湿法刻蚀与一体(专利技术),无需额外设备投入,无需增加工序。

3.无需使用NaOH, HNO3 H2SO4,更环保、更低的化学品耗用成本。

4.实现硅片浸入溶液传输并抛光(专利技术),无需“水上漂”或“滚轮带液”,无刻蚀线,工艺稳定,容易控制。

5.解决了反应气泡不易散发的难题,抛光效果更好,碎片率更低。

6.专用抛光液,背面抛光效果更好,容易控制,产量大,成本低,废水低污染,易处理,节约废水处理成本。

7.背抛光技术与SE,背面钝化(AL2O3),背接触技术,两次印刷,MWT等主流技术可叠加,兼容性好,提升背面技术革新空间。

8.技术便于实现系统集成或模块化,方便客户选择整机或改造。

9.国内第一个完全拥有自主知识产权、新型提效解决方案。

 项目 数据

 功能 去PSG+背抛光+刻蚀

 适用对象 多晶/单晶硅片 156mm*156mm±0.5mm(thickness0.2mm)

  125mm*125mm±0.5mm(thickness0.2mm)

 产能 传输轨道 5

  125mm*125mm 最大产能 3600cells/h

  156mm*156mm 最大产能 3000cells/h

  碎片率 ≦0.05%

 传输速度 速度范围 1.0~2.5m/min

  操作速度 1.8m/min

  传动高度 960±30mm

  主要材质 PVDF, NaturePP, PEEK, PVC

  滚轮间距 50mm

  滚轮材质 PP

 工程条件 电力供应 65KW,3相交流电380V,50Hz

  纯水 2.5±0.5kgf/cm2

  压缩空气/氮气 5±0.5kgf/cm2

 制程控制 PLC控制

 操作界面 全图形化中文彩色人机界面

公司其他产品
公司简介
  苏州晶洲装备科技有限公司是一家集研发、设计、制造和销售为一体的湿制程设备生产商,主要面向TP、LCD、OLED、LED 、SEMI 、PV等行业。晶洲于2008年一期投资1000万元人民币,在常熟市辛庄镇光伏产业园兴建12000平方米的生产基地进行湿制程设备研发与生产。公司拥有业内顶尖的技术和管理团队,凭借先进的设计理念,精湛的制造工艺,可靠的产品质量和完善的售后服务,赢得了国内外众多客户的好评。
  目前公司主营产品有:显影清洗设备、蚀刻脱膜设备、中间水洗设备、PET卷材清洗设备、单片制程清洗设备、玻璃减薄设备、二次强化设备、盖板玻璃清洗设备、背抛光刻蚀清洗设备、单(多)晶制绒设备、全自动SPM超声清洗设备、高温磷酸清洗设备、五金槽式清洗设备、五金链式清洗设备、各种CDS设备及全自动卷入卷出装置、全自动上下料装置等。
  自成立以来,晶洲始终以「技术为先,服务至上,积极创新,科学管理,理想职场」为宗旨,目前已通过多项认证、拥有2项发明专利、 12项实用新型专利及多项高新技术产品,并有多项专利和高新技术产品正在申请中。作为江苏省高新技术企业,晶洲秉着客户导向、质量至上的原则,正快步向 “高科技设备研发制造第一品牌”的宏伟目标迈进!
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公司名称: 苏州晶洲装备科技有限公司
联系人: 刘金升
所在城市: 江苏省 常熟市
详细地址: 辛庄镇光伏产业园光华环路32号
公司商铺: 22519.china-nengyuan.com
电子邮件: jinsheng.liu@kzonetech.com
公司电话: 0512-52992666
传真: 0512-52210111
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主营产品:显影清洗设 蚀刻脱膜设备 PET卷材清洗设备 单片制程清洗设备 玻璃减薄设备 二次强化设备 盖板玻璃清洗设备 背抛光刻蚀清洗设备 单(多)晶制绒设备 全自动SPM超声清洗 高温磷酸清洗设备 五金槽式清洗设备 五金链式清洗设备 各种CDS设备 全自动卷入卷出装置 全自动上下料装置
通信地址:辛庄镇光伏产业园光华环路32号   电话:0512-52992666  传真:0512-52210111
E-mail:jinsheng.liu@kzonetech.com 
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