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石墨舟冷却房
(PLE-1580)
石墨舟冷却房是用于太阳能行业与pecvd承载车配套，经过滤的洁净空气用送风机分散吹向石墨舟，保证石墨舟快速冷却，冷却时间小于等于10分钟。
更新:2016-06-21
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石墨舟装片房
(PLE-1580)
① 能够确保与pecvd石墨舟承载车准确定位；② 采用sus304不锈钢制造，整机结构坚固可靠；③ 采用gk系列高效空气过滤器；④ 净化风机噪音小于50db；⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
更新:2016-06-21
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石墨舟保管柜
(PSC-1000)
这是一种提供局部高洁净度工作环境，通用性较强的净化设备。可广泛应用于电子、精密仪器、仪表、新能源、光伏、制药、生物、农业品种研发、实验、核能等行业中成品或半成品的保管和存放。对改善工艺条件，提高产品质量和成品率均有良好的效果。
更新:2016-06-21
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无菌隔离器
(FBR-1850)
要求没有生物危害的环境，通常为正压系统。机械在蒸汽过氧化氢（VHP）上有丰富的经验，可以提供隔离装置的高效表面消毒。可以提供众多定制多手套和/或半截衣服隔离装置，这些隔离装置可以采用工业标准集成或独立式自动气体在位（GIP）系统进行生物消毒。
更新:2016-06-21
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