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RCA清洗设备
1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏 。2、采用SC1,SC2对芯片表面有机和无机物的有效处理工艺设备,可清洗4“,5”,6“硅片。3、可设计手动全自动运行设计,全自动运行方式采用两只机械手运行,更有效提高效率降低成本。4、清洗能力:4~6寸圆片,25片2篮/批5、全...
更新:2020-07-01
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