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低压化学气相沉积设备
凭借来自世界各地技术专家的努力,理想能源在短短一年的时 间内就研发出在玻璃基板上沉积透明导电氧化物膜(Transparent Conductive Oxide, TCO)的低压化学气相沉积设备(LPCVD)。该设备已有八台用在硅基薄膜太阳电池生产线 上沉积电池的前后导电层。实际的生产数据表明:该设备开机率达90%以上,产...
更新:2013-04-22
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